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• 반도체 제작에 사용되는 이온주입장치 전력공급장치 국산화 성공 제작 비용 70% 절감, 납기 기간 7개월 이상 단축 원자력연구원 양성자과학연구단은 반도체와 첨단 소재 제작에 사용되는 이온주입장치의 고전압 환경에서도 안정적으로 전력을 공급할 수 있는 절연형 모터제너레이터(Motor-Generator Set, MG-SET)를 독자 개발하는 데 성공했다 blog.naver.com · 2026.03.17