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  • DUV 장비 DUV 장비 DUV(심자외선, Deep Ultraviolet) 장비는 248nm(KrF)나 193nm(ArF) 파장의 빛을 이용해 웨이퍼에 미세한 반도체 회로를 새기는 핵심 노광(Photolithography blog.naver.com · 2026.08.19
  • [Dr. J's Chips Insight] 중국이 반도체 가위를 빼앗겼더니, 이젠 직접 칼을 갈기 시작했다- "중국산 이머전 DUV 노광장비" 5대의 진실과 글로벌 파급효과 종합 DUV(Deep Ultraviolet, 심자외선)는 이 노광 공정에 사용하는 빛의 파장이 193nm 또는 248nm인 장비를 통칭한다. 28nm....... blog.naver.com · 2026.07.28

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