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• Photo Resist에 대해 알아보자! 광원별 종류 - I-line 365nm - KrF 248nm - ArF 193nm - F2 157nm - EUV 13.4nm - E-beam - X-ray 2. 기능별 종류 - 주쇄절단형 : E-Beam, X-ray Resist - 용해억제형 : I-line Resist - 화학증폭형 : DUV, VUV, EUV, E-beam 분해능 공식은 blog.naver.com · 2016.08.09