혹시 post exposure baek 이란(으)로 찾으셨나요?

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• photo 공정장비 이해 wafer - SiO2 dep(bake) - cooling - PR - soft bake - cooling Exposure Post bake - development wafer - 만들어진다. soft bake : resist내의 solvent를 휘발시켜주는 공정 Post Expose Bake : PR에서 산을 확신시킴, 용매제거, PR접착력 상승 Bake하는 blog.naver.com · 2016.08.09