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• 표준연, 국산 반도체 공정용 가스 15종 ‘품질평가 체계’ 구축 현재는 15종 전 품목에 대한 시험분석 서비스 체계를 완비했다.15종은 △불화수소(HF) △염화수소(HCl) △암모니아(NH₃) △일산화탄소(CO) △황화카보닐(COS) △사염화규소 zdnet.co.kr · 2026.08.06