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• 반도체 검사 공정에서의 라돈 제거 기술 라돈(Rn)은 반도체, 특히 검사·측정 공정(Test/Inspection Process) 에서 매우 민감하게 작용해서 소자의 소프트 에러(soft error, bit-flip) 를 활성탄 필터로 라돈 저감 가능성 라돈 제거 원리: 라돈은 불활성 기체이므로 일반적인 HEPA/ULPA 필터에는 걸리지 않습니다. blog.naver.com · 2025.08.29