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• 표준연, 국산 반도체 공정용 가스 15종 ‘품질평가 체계’ 구축 ) △삼불화메탄(CHF₃) △이불화메탄(CH₂F₂) △트리플루오로아세틸 플루오라이드(C₂F₄O) △옥타플루오로프로판(C₃F8) △헥사플루오로-1,3-부타디엔(C₄F6) △헥사플루오로 -2-부텐(C₄H₂F6) △옥타플루오로사이클로부탄(C₄F8) 등이다.또 정확한 기준값이 부여된 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종을 개발해 현장 분석 장비의 측정 정확성을 검증하고 zdnet.co.kr · 2026.08.06