블로그
-
"ASML의 2004년 수준"... 중국 반도체 노광 장비 자립의 높은 벽과 현주소
간단 브리핑 이 글은 tom's Hardware의 "China's EUV technology 'at a similar stage to ASML in 2004,' analyst claims"을
- ASML,EUV 광원; 반도체 병목;DUV; Sn,tin droplet evaporation;triple pulse; gt; alternative: multiple patterning, double patterning --> multilayer * multiple process 반복; * ASML 500 k@ --> 1.5 kW 상용화 성공; * high NA(numerical) EUV; Anamorphic lens optics; scan rate; reticle stage
- Focus: The ASML Way ASML—the Dutch semiconductor company—from a different angle. Part 2 introduces the key figures who helped set the stage for ASML to become a major player.