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- 반도체법 개격에 맞춘 장비 규제 혁신, K-반도체 초격차 속도 낸다 안전 기준 합리화로 장비 도입 한 달서 10일로 대폭 단축 [중앙뉴스= 이성중 기자] 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비 도입 절차가 대폭 간소화되면서 국내 반도체 미세공정 한국가스안전공사와 ASML 코리아는 고압가스 안전관리 기준을 합리화하고, EUV 장비를 ‘고압가스 제조시설’이 아닌 ‘고압가스 특정설비’로 재분류하기로 합의했다.
- 한국가스안전공사, ASML 코리아와 반도체 가스안전 협력 논의 - EUV 장비 관련 규제 합리화...반도체 산업의 안전 성장 위한 동행 모색 - 한국가스안전공사(사장 박경국)는 9일, ASML 코리아(대표이사 최한종)와 반도체 산업 현장의 고압가스