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• ASML,EUV 광원; 반도체 병목;DUV; Sn,tin droplet evaporation;triple pulse; * wafer 도달시의 해상도: DUV resolution= 40 nm; EUV resolution= 20 nm; *> alternative: multiple patterning , double patterning --> multilayer * multiple process 반복; * ASML,EUV 광원; 반도체 병목; DUV; Sn,tin droplet blog.naver.com · 2026.06.12