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기계연, 디지털 노광스캐너 개발…유연전자소자 대량생산 길 열어
실시간 패턴 보정이 가능한 디지털 리소그래피 스캐너와 이 스캐너를 롤투롤 이송시스템과 결합, 유연전자소자
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패터닝 기술을 성공적으로 구현했다.또 DMD(디지털 마이크로-미러 디바이스 또한, 유연기판을 보조 기판 없이
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이송하며 직접 패터닝하기 때문에 기판 길이에 제한이 없는 대면적 양산이 가능하다.이원섭 기계연 나노리소그래피연구센터 선임연구원은 "나노공정은
zdnet.co.kr · 2026.06.29