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• 비씨엔씨-램리서치, 특허성 놓고 '팽팽' 20일 특허법원에서 열린 '298 특허 무효분쟁 관련 심결취소소송 변론기일에서, 램리서치는 '298 특허에 대해 "플라스마 식각 공정 중 에지 링 일부가 부식되면 공정 균일도를 위해 리프트 램리서치와 비씨엔씨는 램리서치의 '298 특허 외에 또 다른 특허 2건(하단 링 및 중간 에지 링·2254224, 기판 프로세싱 시스템을 위한 감소된 커패시턴스 변화를 갖는 이동식 zdnet.co.kr · 2026.08.20