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[반도체 단위공정] CVD 방식 종류
CVD는 반응
에너지
, 공정 압력조건, 원료물질 종류에 따라 다양한 종류가 있으며, 박막의 물리, 화학적 성질은 기판 성질, 온도/속도/압력의 증착 조건에 의해 결정된다. 반도체 소소제공(최신개정판) : 반도체 기술 융합 (naver.com) ◆[전자책]반도체
단위공정
/8대공정/제조공정 강의자료(설명포함) 반도체산업 필수인 8대 단위공정의 강의를 담은
blog.naver.com · 2020.11.24