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- 서플러스글로벌, ALD·AI 장비진단 기술 특허 등록…“업사이클링 역량 강화” 특허는 △ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 △ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 △웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템에 대한 것이다. 구체적으로 ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 특허는 반응기 내부 압력을 안정적으로 제어해 공정 신뢰성을 높이는 기술이다. 반응기 상
- 서플러스글로벌, ALD·AI 장비진단 기술 특허 확보 ▲ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 ▲웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템 등 총 3건이다.ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 특허는 반응기 내부 압력을 안정적으로 이를 통해 장비 개방, 유지보수, 재가동 과정에서 발생할 수 있는 리스크를 줄이고, 기존 장비의 재사용성과 운용 신뢰성을 높이는 데 기여할 것으로 기대된다.ALD 밸브 모니터링 방법