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• 지식재산처, 반도체 전공정 해설집 첫 공개…특허부터 장비까지 한눈에 지식재산처가 반도체 분야 특허심사의 전문성을 높이고 국내 기업 특허 경쟁력 강화 지원을 위해 '반도체 제조장비·부품 해설집 전 공정 편'을 발간했다. 5일부터 지식재산처 누리집을 통해 이번 해설집은 반도체 제조공정 가운데 회로를 형성하는 핵심 단계인 전공정을 중심으로 제작됐다. www.etnews.com · 2026.07.05