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• 에스엠, 반도체 가스 누출 0.5초내 감지…"삼디 라인에 적용 준비" [지디넷코리아]초음파 센서로 단 0.5초만에 반도체 가스 누출을 감지하는 시스템을 삼성디스플레이(삼디)에 납품하고, 현재 반도체 라인 적용을 준비중이다." 최근엔 신제품 '배트캠-씨엑스(BATCAM CX)'로 글로벌 반도체 가스 캐비닛 시장을 공략 중"이라며 이같이 말했다.배트캠-씨엑스 모델은 반도체 가스 캐비닛용 초음파 누출감지 솔루션이다 zdnet.co.kr · 2026.06.18